在线观看黄色小说_欧美少妇日韩_黄色高清无码免费网站_亚洲一区激情欧美_亚洲精品无码永久无码_国产一区二区色午夜在线_精品精品国产高清a毛片不卡_福利网站在线播放_狠狠干亚洲综合网_五月六月婷婷

聯(lián)系我們
首頁> 產(chǎn)品 > 紅外氣體傳感器 > 紅外氣體傳感器SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2
大001.png

紅外氣體傳感器SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2

紅外氣體傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品詢問

產(chǎn)品特性

技術(shù)參數(shù)

檢測原理 NDIR
檢測氣體 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性 ±0.5%
線性 ±1%F.S.
檢測限 1ppm
以上功能和規(guī)格請以正式產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書為準。如需獲取更多技術(shù)信息，請聯(lián)系：027-81628813
請聯(lián)系我們，獲取更多產(chǎn)品信息
發(fā)送