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四方光電塵埃粒子計數(shù)器在半導體潔凈生產(chǎn)中的應用

  半導體產(chǎn)能不斷擴張，配套設備需求提升加速

  隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，中國半導體行業(yè)市場規(guī)模也從2017年的1315億美元增長至2022年的1820億美元?；诎雽w產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化進程不斷加快，下游晶圓廠也在不斷擴張，中國芯片制造商預計2024 年將新開18座晶圓廠，產(chǎn)能將從760萬片推升至860 萬片。在半導體國產(chǎn)化趨勢下，國內晶圓廠的擴張也有望帶動半導體配套設備的國產(chǎn)替代需求，將隨著晶圓工廠的擴產(chǎn)持續(xù)增加。




  顆粒污染影響產(chǎn)品品質，半導體制造潔凈度要求高

  根據(jù)國際半導體設備制造商協(xié)會 (SEMI) 最近發(fā)布的世界晶圓廠預測?，超過50%的半導體產(chǎn)量損失可歸因于微污染。為了最大限度地減少良率損失，半導體制造廠必須在潔凈室中采用嚴格的污染控制策略。半導體制造工藝復雜，如何提高產(chǎn)品的成品率對于半導體企業(yè)在競爭中保持優(yōu)勢至關重要。影響半導體成品率的因素有很多，其中生產(chǎn)過程中的空氣雜質（塵埃顆粒）是不可忽視的因素。由于高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經(jīng)降到微米級別，更容易受到微粒的影響，這種微粒附著在半導體表面可能會形成致命的缺陷，導致器件失效。

  LSI各制造工序與潔凈室的清潔條件




  四方光電塵埃粒子計數(shù)器，讓潔凈室微塵無所遁形

  四方光電在線粒子計數(shù)器OPC-6510DS采用光學散射原理，可精確檢測并計算單位體積內空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數(shù)，具有28.3L/min大流量的氣體采樣速率，可同時輸出0.3um、0.5μm、1.0μm、5.0um、10um五個通道的顆粒數(shù)(默認單位pcs/28.3L)，廣泛應用于百級、千級、萬級、十萬級等潔凈室環(huán)境。

  · 采用3.5寸觸摸屏，實時顯示各粒徑數(shù)量、等級以及報警信息等

  · 內置四方光電獨有的塵源智能識別模塊，高效粒子識別率，檢測精度高

  · 內置超聲波流量傳感器，實現(xiàn)28.3L恒流采樣，數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定性高

  · 低噪音渦輪風機采樣，連續(xù)監(jiān)測穩(wěn)定性好，壽命長

  · 滿足IS014644-1:2015、新版GMP、JF1190-2008、GB/T6167-2007標準




  未來四方光電將繼續(xù)深耕光散射技術，不斷創(chuàng)新，為客戶提供定制化的潔凈室解決方案，幫助客戶最大程度提高產(chǎn)品質量。